1ミリ以下の微小単位が基準となるマイクロシステム技術（MST）は横断型技術として様々な分野で応用されています。またナノテクノロジー（NT）も一つの応用分野で使用されるのではなく、化学・物理・生物学を基にして、全く新しい応用分野を開発する横断型技術です。1ナノメーターは髪の毛の太さの約8万分の1です。NRW州はドイツでは最も重要且つ最大のマイクロシステム技術（MST）拠点です。集積地には主にドルトムント、アーヘンおよびルール地域があります。中でもドルトムントのマイクロシステム技術（MST）クラスターはヨーロッパでも三大拠点に入ります。ここでは40以上の企業が集積し、全体で2200人を超す就業者を雇用しています。著名なマイクロシステム技術／ナノテクノロジーには、Bartels Mikrotechnik社、ELMOS Semiconductor社、Lissotschenko Mikrooptik社 (LIMO)、ChemBiotech社、AMO社があります。
